鏡面式

冷鏡式露點(diǎn)儀

不同水份含量的氣體在不同溫度下的鏡面上會(huì )結露。采用光電檢測技術(shù)，檢測出露層并測量結露時(shí)的溫度，

直接顯示露點(diǎn)。鏡面制冷的方法有：半導體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。鏡面式露點(diǎn)儀采用的是直接測量方法，在保證檢露準確、鏡面制冷率和精密測量結露溫度前提下，該種露點(diǎn)儀可作為標準露點(diǎn)儀使用。目前上zui高精度達到±0.1℃(露點(diǎn)溫度)，一般精度可達到±0.5℃以?xún)入妭鞲衅魇铰饵c(diǎn)儀

采用親水性材料或憎水性材料作為介質(zhì)，構成電容或電阻，在含水份的氣體流經(jīng)后，介電常數或電導率發(fā)生相應變化，測出當時(shí)的電容值或電阻值，就能知道當時(shí)的氣體水份含量。建立在露點(diǎn)單位制上設計的該類(lèi)傳感器，構成了電傳感器式露點(diǎn)分析儀。目前上zui高精度達到±1.0℃(露點(diǎn)溫度)，一般精度可達到±3℃以?xún)取?/p>

電解法露點(diǎn)儀

利用五氧化二磷等材料吸濕后分解成極性分子，從而在電極上積累電荷的特性，設計出建立在含濕量單位制上的電解法微水份儀。

晶體振蕩式露點(diǎn)儀

利用晶體沾濕后振蕩頻率改變的特性，可以設計晶體振蕩式露點(diǎn)儀。這是一項較新的技術(shù)，尚處于不十分成熟的階段。國外有相關(guān)產(chǎn)品，但精度較差且成本很高。

紅外露點(diǎn)儀

利用氣體中的水份對紅外光譜吸收的特性，可以設計紅外式露點(diǎn)儀。該儀器很難測到低露點(diǎn)，主要是紅外探測器的峰值探測率還不能達到微量水吸收的量級，還有氣體中其他成份含量對紅外光譜吸收的干擾。但這是一項很新的技術(shù)，對于環(huán)境氣體水份含量的非接觸式在線(xiàn)監測具有重要的意義。

半導體傳感器

每個(gè)水分子都具有其自然振動(dòng)頻率，當它進(jìn)入半導體晶格的空隙時(shí)，就和受到充電激勵的晶格產(chǎn)生共振，其共振頻率與水的摩爾數成正比。水分子的共振能使半導體結放出自由電子，從而使晶格的導電率增大，阻抗減小。利用這一特性設計的半導體露點(diǎn)儀可測到-100℃露點(diǎn)的微量水份。

重量法

是一種經(jīng)典的測量方法。讓所測樣氣流經(jīng)某一干燥劑，其所含水分被干燥劑吸收，稱(chēng)取干燥劑吸收的水分含量，與樣氣體積之比即為樣氣的濕度。該方法的優(yōu)點(diǎn)是精度高，zui大允許誤差可達0.1%；缺點(diǎn)是具體操作比較困難，尤其是必須得到足夠量的吸收水質(zhì)量（一般不小于0.6克），這對于低濕度氣體尤其困難，必須加大樣氣流量，結果會(huì )導致測量時(shí)間和誤差增大（測得的濕度不是瞬時(shí)值）。因而該方法只適合于測量露點(diǎn)-32℃以上的氣體，可以說(shuō)市場(chǎng)上純粹利用該方法測濕度的儀器較少。

由以上分析可知，重量法的關(guān)鍵是怎樣測量干燥劑吸收的水分含量，因為直接測量比較困難，由此衍生了兩種間接測量吸收水含量的方法。

電解法

就是將干燥劑吸收的水分經(jīng)電解池電解成氫氣和氧氣排出，電解電流的大小與水分含量成正比，通過(guò)檢測該電流即可測得樣氣的濕度。該方法彌補了重量法的缺點(diǎn)，測量量程可達-80℃以下，且精度較好，價(jià)格便宜；缺點(diǎn)是電解池氣路需要在使用前干燥很長(cháng)時(shí)間，且對氣體的腐蝕性及清潔性要求較高。采用該方法的儀器較多，典型的是美國Edgetech 公司的1-C型微水儀和杜邦公司的M303及國產(chǎn)的USI系列產(chǎn)品。

振動(dòng)頻率法

就是將重量法中的干燥劑換用一種吸濕性的石英晶體，根據該晶體吸收水分質(zhì)量不同時(shí)振動(dòng)頻率不同的特點(diǎn)，讓樣氣和標準干燥氣流經(jīng)該晶體，因而產(chǎn)生不同的振動(dòng)頻率差△f1和△f2，計算兩頻率之差即可得到樣氣的濕度。該方法具有電解法一樣的優(yōu)點(diǎn)，且使用前勿須干燥。典型代表儀器是英國Michell的QMA系列、美國AMETEK公司的560B。

冷鏡法

也是一種經(jīng)典的測量方法。讓樣氣流經(jīng)露點(diǎn)冷鏡室的冷凝鏡，通過(guò)等壓制冷，使得樣氣達到飽和結露狀態(tài)（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時(shí)的溫度即是樣氣的露點(diǎn)。該方法的主要優(yōu)點(diǎn)是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術(shù)后，不確定度甚至可達0.1℃；缺點(diǎn)是響應速度較慢，尤其在露點(diǎn)-60℃以下，平衡時(shí)間甚至達幾個(gè)小時(shí)，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會(huì )影響光電檢測效果或產(chǎn)生‘偽結露’造成測量誤差。該方法的典型廠(chǎng)家代表是及英國Michell公司,美國General Eastern公司及瑞士MBW公司等。

阻容法

是一種不斷完善的濕度測量方法。利用一個(gè)高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。該方法的主要優(yōu)點(diǎn)是測量量程可更低，甚至達-100℃，另一突出優(yōu)點(diǎn)是響應速度非?？?，從干到濕響應一分鐘可達90%，因而多用于現場(chǎng)和快速測量場(chǎng)合；缺點(diǎn)是精度較差，不確定度多為±2～3℃。老化和漂移嚴重，使用3~6個(gè)月必須校準。該方法的典型廠(chǎng)家代表為英國Alpha濕度儀器公司，愛(ài)爾蘭的PANAMETRICS公司及美國的XENTAUR公司。但隨著(zhù)各廠(chǎng)家的不斷努力，該方法正在逐漸得到完善，例如，通過(guò)改變材料和提高工藝使得傳感器穩定度大大提高，通過(guò)對傳感器響應曲線(xiàn)的補償作到了飽和線(xiàn)性，解決了自動(dòng)校準問(wèn)題。代表產(chǎn)品為英國Michell的Easidew系列，采用陶瓷基底的氧化鋁電容及C2TX微處理器。